趙工
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PC100系列金屬密封壓力控制器穩(wěn)定的壓力控制以及更高的過程氣體純度，最大限度優(yōu)化處理效果
布魯克斯儀器的金屬密封壓力控制器的設(shè)計特點是經(jīng)久耐用，同時還具備持久和得到認可的準(zhǔn)確性，液體測量和控制領(lǐng)域的企業(yè)用戶均信賴布魯克斯。我們的電子壓力控制器將核心控制技術(shù)用于自身業(yè)內(nèi)的熱質(zhì)量流量控制器。
電子壓力控制器不存在傳統(tǒng)機械彈簧式隔膜壓力調(diào)節(jié)器所導(dǎo)致的衰減和滯后問題。同時，選擇金屬密封壓力控制器可提高氣體純度，原因是此類控制器不使用會發(fā)生氧滲透的彈性體，并且金屬密封件能夠減少維護次數(shù)可無限期使用。
另外還提供帶有內(nèi)部壓力傳感器的布魯克斯壓力控制器以在 torr 級至 500 psig 范圍內(nèi)進行壓力控制。結(jié)果：能夠始終確保關(guān)鍵半導(dǎo)體工藝準(zhǔn)確執(zhí)行并得到嚴(yán)格控制的壓力控制器。
應(yīng)用
硅材料半導(dǎo)體器件制造工藝 – 蝕刻、剝膜、CVD、ALD、PVD、Epi、擴散、植入和 RTP
化合物半導(dǎo)體器件加工工藝 – MOCVD
設(shè)計精密的表面涂層
分析系統(tǒng)
真空處理應(yīng)用
以上內(nèi)容由上海維特銳提供；詳情請點擊：美國Brooks壓力控制器PC100系列有現(xiàn)貨